雷尼紹SiGNUM RELM高精度直線光柵
? 堅(jiān)固的20 μm柵距因鋼柵尺
? 精度達(dá)±1 μm,分辨率達(dá)5 nm,周期誤差為±30 nm
? 雙向可重復(fù)IN-TRAC光學(xué)參考零位
為何使用RELM?
? IN-TRAC內(nèi)置刻劃光學(xué)零位具有雙 向、可重復(fù)功能,甚至可以實(shí)現(xiàn)最高速度(12.5 m/s)。
? 動(dòng)態(tài)信號(hào)控制確保了電子細(xì)分誤差小于±30 nm。如今,20 um柵距的光柵系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)以前只有小柵距光柵才能達(dá)到的性能水準(zhǔn),另外它還具有抗灰塵和安裝簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。
? RELM柵尺由一種堅(jiān)固、低膨脹的穩(wěn)定 合金 — 因鋼制成,操作和安裝都很方 便。
? 高精度(達(dá)±1 um)和低熱膨脹系數(shù)(<1.4 μm/m/°C)使RELM因鋼柵尺 適用于最精密的運(yùn)動(dòng)應(yīng)用。
? 安裝方便??墒褂脵C(jī)械夾具或背面自帶的特殊配方不干膠直接安裝在底 層。
? 內(nèi)置的安裝指示燈和功能全面的 SiGNUM軟件使安裝快捷簡(jiǎn)單,從而實(shí)現(xiàn)最佳性能,并可方便地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行診斷。
? 雙光學(xué)限位可在柵尺上提供行程終點(diǎn) 指示。