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  • 雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM系列精度達(dá)±1 μm,分辨率達(dá)5 nm,周期誤差為±30 nm, 雙向可重復(fù)IN-TRAC光學(xué)參考零位 。
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雷尼紹SiGNUM RELM高精度直線光柵

?  堅(jiān)固的20 μm柵距因鋼柵尺

?  精度達(dá)±1 μm,分辨率達(dá)5 nm,周期誤差為±30 nm

?  雙向可重復(fù)IN-TRAC光學(xué)參考零位 


雷尼紹直線光柵RELM高精度直線光柵重新定義了光柵的性能,具有高速、可靠、非接觸的性能,它還具有IN-TRAC內(nèi)置刻劃光學(xué)零位等先進(jìn)功能,它的系統(tǒng)由SR讀數(shù)頭、Si細(xì)分盒和RELM 20 μm柵距的因鋼柵尺組成。雷尼紹高精度直線光柵RELM極為堅(jiān)固,其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。它的精度達(dá)±1 μm,膨脹系數(shù) ~ 0.6 μm/m/°C(0 °C至30 °C),分辨率 達(dá)5 nm,能夠滿足苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需 求。SR讀數(shù)頭工作速度達(dá)12.5 m/s ,它采用了雷尼紹獨(dú)特的光學(xué)濾波裝置,具有極佳的抗污垢、灰塵和劃傷的能 力。參考零位的位置可設(shè)在柵尺的中 心(RELM)或距柵尺端點(diǎn)20 mm處  (RELE)。 


 為何使用RELM? 

? IN-TRAC內(nèi)置刻劃光學(xué)零位具有雙 向、可重復(fù)功能,甚至可以實(shí)現(xiàn)最高速度(12.5 m/s)。 

? 動(dòng)態(tài)信號(hào)控制確保了電子細(xì)分誤差小于±30 nm。如今,20 um柵距的光柵系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)以前只有小柵距光柵才能達(dá)到的性能水準(zhǔn),另外它還具有抗灰塵和安裝簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。

?  RELM柵尺由一種堅(jiān)固、低膨脹的穩(wěn)定 合金 — 因鋼制成,操作和安裝都很方 便。

?  高精度(達(dá)±1 um)和低熱膨脹系數(shù)(<1.4 μm/m/°C)使RELM因鋼柵尺 適用于最精密的運(yùn)動(dòng)應(yīng)用。

?  安裝方便??墒褂脵C(jī)械夾具或背面自帶的特殊配方不干膠直接安裝在底 層。 

? 內(nèi)置的安裝指示燈和功能全面的 SiGNUM軟件使安裝快捷簡(jiǎn)單,從而實(shí)現(xiàn)最佳性能,并可方便地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行診斷。 

?  雙光學(xué)限位可在柵尺上提供行程終點(diǎn) 指示。 




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